透射電鏡的發(fā)展趨勢

a ．提高分辨本領(lǐng)、改進(jìn)儀器性能降低物鏡的球差、提高物鏡電流和高壓的穩定度以減小色差。提高加速電壓，減小電子波長(cháng)等均是提高分辨本領(lǐng)的有效途徑。由于這些措施可能在超高壓電鏡中實(shí)施，因此曾對超高壓電鏡寄以厚望。因為技術(shù)上的難度大，尤其是建造費用昂貴，使其進(jìn)展艱難。而且實(shí)際分辨本領(lǐng)仍在0.2～0.3nm 。折衷的辦法是發(fā)展200～300kV的高壓電鏡。
　　b ．提高自動(dòng)化程度，簡(jiǎn)化操作真空操作、樣品更換及驅動(dòng)、照相記錄、電鏡工作模式變換等復雜的工作均只需要一個(gè)啟動(dòng)命令就能自動(dòng)完成，尤其是引入電子計算機之后，使操作進(jìn)一步自動(dòng)化，而且還可以對圖像或譜線(xiàn)進(jìn)行處理。
　　c ．向分析式電鏡發(fā)展電子顯微鏡把人們引入了千變萬(wàn)化的微觀(guān)世界，使我們能在原子量級上來(lái)研究物質(zhì)的微觀(guān)結構。透射模式使我們得到了物體的形貌、電子衍射模式可以分析物體的表面結構。在觀(guān)察高倍像時(shí)，我們往往想知道所觀(guān)察物體內的元素組成和微觀(guān)結構，因此在透射電鏡中引入了X 射線(xiàn)光譜儀和掃描透射模式等使透射電鏡成了分析式電鏡。
　　電子能量損失譜儀（electron energy loss spectrometer , EELS）是基于入射電子打到樣品上，使原子內殼層的電子被激發(fā)產(chǎn)生電離。這時(shí)入射電子損失一部分能量△E 后并以非彈性散射電子的形式射出。由于△E 至少大于內層電子的電離能及，而每一種元素都有其特征的瓜值，因而對非彈性散射電子進(jìn)行能量分析就可以獲得試樣的元素組成信息。
　　掃描透射電鏡（STEM）的成像原理與掃描電鏡相似，不過(guò)收集的不是二次電子而是分別收集透過(guò)樣品的彈性和非彈性散射電子來(lái)成像。由于掃描透射模式的圖像是逐點(diǎn)、按時(shí)間順序排列的像素組成，所以用計算機作實(shí)時(shí)圖像處理很方便。掃描透射的另一優(yōu)點(diǎn)是利用微小束斑可以作超微區的顯微分析。
　　d ．場(chǎng)發(fā)射槍透射電鏡場(chǎng)發(fā)射電子槍具有亮度高（比鎢絲槍高三個(gè)量級）、交叉斑�。ㄖ睆綖�0 . 01～0 . 02nm）、電子能量分散小及相干性好等優(yōu)點(diǎn)，正日益受到重視。對透射電鏡開(kāi)展微區衍射和微區分析十分有利，它的高相干性為電子顯微學(xué)開(kāi)展全息術(shù)提供了廣闊的前景。
　　下表列出了目前世界各國生產(chǎn)的幾種透射電鏡的性能比較。